原创: Vivek Bakshi EDN电子技术设计 现在正是再次探讨缩短波长并了解其优缺点的时候了。我们不知道13.5nm和1nm之间的最佳选择,所以我将这种新技术选项称为Blue-X——其波长大约介于深蓝极紫外光(EUV)微影和X射线之间。 缩短波长是持续扩展光学微影技术的一种选择,着重在短于13.5nm波长的光源和光学组件,这些将在不久的未来实现这一技术。 升级至0.5的更高数值孔径(NA),将必须付出十分昂贵的代价。不仅工具成本将倍增至2.35亿欧元,较大尺寸的扫描仪也需要更庞大的费用来打造更大规模的晶圆厂。 一旦采用高数值孔径作业,在考虑更高数值孔径带来更高成本的同时,也一并想到高数值孔径的多重曝光,这样可能更有意义。然而,缩短波长不仅能缩减数值孔径,从而有助于提高分辨率,同时降低工具成本以及功耗要求。 以k1系数约0.3的单次曝光为例,在13.5nm波长时,0.33 NA达到12nm的分辨率,而在0.5 NA时可提高到8nm。业界一度关注的波长为6.7nm,但由于我们无法解决其功率问题,使得该选项缺乏带宽而被放弃了。 相较于采用6.7nm波长,从0.33升级至更高NA有其优点:它让我们能保持相同的功率、多层(ML)和光罩等基础设施。毕竟,同时承担太多挑战并不是个好办法。 我们已经了解如何根据雷射驱动电浆(LPP)、光学组件、污染控制和光...
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来源:西北师范大学新闻网 中新网甘肃新闻10月15日电 据西北师范大学披露,10月11日,兰州高新区建设兰白国家自主创新示范区政策发布暨产业研究院成立大会召开。 大会公布了“1+4+7”自创区建设政策体系,“1”是《兰州高新区建设国家自主创新示范区实施方案》;“4”是搭建科技成果转化、协同创新、科技孵化和科技金融“四大平台”;“7”是建立人才培养与引进、促进产业发展、瞪羚企业认定及培育、招商引资、生态建设等扶持政策以及优化政务服务和项目落地的实施办法。 会上,甘肃省委常委、兰州市委书记李荣灿与中国科学院院士、兰州大学校长严纯华,兰州市委副书记、市长张伟文,中科院兰州分院分党组书记谢铭,甘肃省科学院院长高世铭,省教育厅副厅长王光亚,省科技厅副厅长巨有谦,省工信委副主任王海峰共同为新成立的稀土功能材料产业研究院、生命科学技术产业研究院、金属纳米材料产业研究院、深圳市国创新能源研究院兰州分院等4家产业研究院和兰白国家自主创新示范区兰州大学工作站、西北师范大学工作站、兰州理工大学工作站、甘肃省膜科学技术研究院工作站等4所工作站授牌。
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来源:中国化工报 中化新网讯 近日,福建(龙岩)稀土工业园中心大道道路工程建设项目开工建设。该项目由长汀县国投公司负责建设,项目总投资2.3亿元、道路全长4.78千米。 据了解,今年该稀土工业园区已签约投资1亿元的比路智能音圈马达及其配套项目和投资3亿元的高性能纳米钛酸钡粉体产业项目。已开工福建卓尔科技股份公司投资1.6亿元的钐钴永磁材料(一期)项目、长汀比路电子有限公司投资1亿元的智能微形音圈马达项目、长汀雷生公司投资2.5亿元的激光及闪烁晶体项目、福建鸣友新材料公司投资1.2亿元的热转印稀土新材料生产项目等四个项目。 目前,稀土工业园区正在加快金龙稀土6000吨特种金属和6000吨永磁材料、中石油催化裂化剂闪烁与激光晶体、钐钴永磁电机、智能手机音圈马达,钛酸钡粉体等新上项目的建设进度,力争早日竣工投产。
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来源:中国科学院网站 长期矿山开采、选矿与冶炼等活动导致了江西等地农田土壤重金属超标较为突出,影响了农产品质量安全;赣南稀土矿区脐橙果品重金属和稀土元素是否超标,引起了社会的广泛关注。近年来,中国科学院南京土壤研究所研究员王兴祥团队针对重金属超标农田和稀土尾矿地安全利用开展了较为系统的研究,取得新进展。 一、以保障农产品质量安全为出发点,采用国内外最新的污染生态和食品安全风险评价方法,基于土壤-作物系统重金属迁移预测模型,结合物种性敏感分布,建立了土壤重金属安全阈值(水稻、蔬菜等),并结合江西实际开展了赣南脐橙果园土壤重金属安全阈值研究,在国际期刊上发表系列论文[1,2,3,4],起草制定了相关国家标准(GB/T 36783-2018,GB/T 36869-2018),明确了赣南脐橙果园土壤的安全性及优越性[5,6],为国家农用地土壤环境质量标准的修订提供了科学依据,为农用地土壤污染风险评估与管控、种植结构调整、发展重金属超标农田安全利用技术提供了理论依据。 二、开展了重金属超标农田和稀土尾矿地安全利用关键技术研究。从当地主栽品种中筛选出了一批具有区域适应性的相对低积累品种;发现了水稻第1个节的扩散维管束在控制Cd地上部转运的重要作用,即接近稻穗第1个节的扩散维管束面积越大,Cd向籽粒(纵向)迁移能力越强,相反,Cd越容易转运到叶片中(侧向)[7];发明研制了多种土壤重金属复...
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