来源:平安财经
佛罗里达州克利尔沃特 -记录意味着被打破;冠军被废。了。在报告了所谓的“世界上最小的直流无刷电机”(见DN5-5-97)之后的短短几个月,随之而来的是更小的电机。该无刷直流电机直径仅为1.9 mm,长5.5 mm,提供0.5 V直流标称电压,空载电流为73 mA。空载转速的额定转速为150,000 rpm,失速转矩为7μNm。微电机由德国Schonaich的姐妹公司Faulhaber GmbH和其研究合作伙伴IMM(德国Mainz-Hechtsheim)合作开发,微电机采用特殊制造的轴承,稀土磁体系统,专有润滑剂。
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由LIGA技术生产的行星齿轮箱根据所选比率(3.6:1至47:1)仅增加2-4 mm的电机长度。基于深X射线光刻和电镀,LIGA允许模制的微距齿轮具有非常高的纵横比。
“基于比较半导体的表面和体积加工技术,”Micro Mo高级研究与规划副总裁Stephen O'Neil说,“更适合于低纵横比,低输出功率或承重的二维器件能力“。
减速机编号:最大输出扭矩高达300μN间歇性和150μNm连续;根据比例,效率从50%到80%。目标和beta测试应用:医疗诊断,治疗和手术设备;细胞生物学研究工具;化学分析仪器;微记录和数据存储设备;侦察和安全设备;和泵/分配系统。
快速打印头
瑞士纳沙泰尔 -高密度微电磁铁阵列构成了每分钟700页的磁性印刷机的基础。它们不仅提高了打印速度,而且这些硅磁体阵列的分辨率提高到每英寸480点(dpi) - 是由单独制造的电磁铁制成的传统磁体阵列的两倍。
由CSEM SA(Center Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA)开发,每个电磁铁由围绕磁路的扁平多匝线圈组成。磁路写入极和大的低磁阻背板形成电路。写入极集中并引导由线圈产生的磁通量,而背板提供磁通返回路径。由于每个芯片的器件数量太高而无法单独寻址每个电感线圈,因此片上集成二极管矩阵依次寻址线圈。
批量制造降低了成本。从硅衬底开始:1)标准微电子工艺构建寻址电子器件;2)微电化学沉积铺设金线圈;3)硅块体微机械加工,然后电沉积FeNi背板和写入极,形成磁路。
高速打印头目前正在法国贝尔福的Nipson Printing Systems的CSEM SA生产。
管内微检机
日本爱知- 由DENSO研究实验室开发的这种微型“管道履带”包括涡流传感器,多层执行器,反质量和三个夹具。元件位于厚度为60英寸,厚度为0.084克的外壳中。外壳结构采用与集成电路制造相同的工艺:精密加工,电镀和蚀刻。
每个致动器层包括压电元件和弹性板,布置成双金属。因为压电元件的壳体积是恒定的,所以压电元件在施加电压的方向上膨胀,但在垂直方向上收缩。这使弹性板弯曲,放大位移。层数决定了执行器的力。
致动器膨胀/收缩使检查机器在管道内向前和向后移动。在膨胀过程中,夹具和管子之间的静摩擦力超过了反质量的惯性力;惯性力克服收缩过程中的静摩擦力。
微型检测机能够检测宽度约为10毫米的裂缝,可在空气和液体中运行。
旋转微镜
达拉斯,德克萨斯州 -视频现在跟随音频的脚步,通过数字化以便于存储和传输。数字光处理(DLP)支持数字视频格式的数字显示,从而消除了数字到模拟处理步骤。它的工作原理是将一束光解释为一种彩色模拟图像。
数字微镜器件(DMD)使用电信号移动16微米的方形
铝镜以反射光。DMD阵列可以产生黑色或白色或带有
滤光片,颜色显示作为数字光处理系统的一部分。
DLP的关键是来自德州仪器的MEMS器件,称为DMD(数字微镜器件)灯开关。每个DMD具有一个16微米米见方的铝镜,其可以在两个方向中的一个反射光,取决于下面的CMOS SRAM存储器单元的状态。当存储器单元处于(1)状态时,镜子旋转到+10度;当单元格处于(0)状态时,镜子旋转到-10度。
镜子刚性连接到下面的轭。轭通过两个机械柔性扭转铰链连接到附接到基板的支撑柱。镜子和轭的寻址电极连接到存储器单元的互补侧。
在存储器单元和轭和镜子之间产生静电场,产生静电转矩。该扭矩抵抗铰链的恢复扭矩以旋转镜子。镜子和轭架旋转,直到轭架抵靠与轭架处于相同电位的机械止动件。
通过将DMD与光源和投影光学器件组合,镜子将光反射到投影透镜的光瞳中或从投影透镜的光瞳中反射出来。因此,(1)状态看起来很亮,而(0)状态看起来很暗。入射光的二进制脉冲宽度调制导致灰度阴影。固定或旋转滤色器与一个,两个或三个DMD芯片组合产生颜色。
亚利桑那州凤凰城 -使用基于硅的技术检测气体具有许多优点:传感器比传统设备小,性能稳定,设备成本更低。
硅微机械一氧化碳传感器现在可从摩托罗拉获得。应用包括家庭火灾,烟雾和气体警报;工业监测和维护系统;和汽车排放和传感。
摩托罗拉使用批量和表面微加工技术制造传感器,这些技术获得瑞士Microsens SA批准,Bulk micromachining涉及单晶硅蚀刻。以这种方式开发的微机械结构由硅晶体或硅上沉积或生长的层制成。表面微机械加工涉及在基板顶部沉积或生长层以构建微机械装置。
氧化锡薄膜可感知一氧化碳的浓度。加热器位于薄膜下方,嵌入氧化硅层中。整个结构基于硅体积微机械加工到2毫米。该基层降低了将结构加热到100至450℃工作温度所需的热质量和功率。
摩托罗拉计划为不同的气体提供一系列化学传感器。即将推出:甲烷传感器和测量硫化氢的传感器。
血压传感器
加利福尼亚州米尔皮塔斯- 医疗行业中MEMS产品的最大批量应用是测量医院重症监护病房中的患者血压。
一种这样的传感器是来自EG&G IC传感器的Model 1620一次性血压传感器。以下是它的工作原理:来自盐水袋的液体通过管道进入MEMS传感器包装,然后进入患者的手臂。当心脏跳动时,压力波在流体路径上向上移动并由传感器检测,传感器将信息发送到监视器。